¿ÞÂʺÎÅÍ ¿ÀÀ챂 ¾ÆÁÖ´ë ±³¼ö, Á¤ÀçÇÐ ¾¾¿£¿ø ´ëÇ¥, ÀÌÇѺ¸¶÷ ÀÎõ´ë ±³¼ö
(´º½ºÅë½Å=±è»ó¼· ±âÀÚ) ÀÎõ´ë¿Í ¾ÆÁÖ´ë ±³¼öÆÀÀÌ ¡®¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸Àåºñ¡¯ ±â¼úÀ» 11¾ï7500¸¸¿ø¿¡ ÀÌÀüÇß´Ù.
20ÀÏ ÀÎõ´ë ÀÌÇѺ¸¶÷ ±³¼ö(½Å¼ÒÀç°øÇаú)¿Í ¾ÆÁÖ´ë ¿ÀÀ챂 ±³¼ö(Áö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼°øÇаú)´Â ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ÀåºñÀÇ ÄÚÆÃÀåºñ ¹× °øÁ¤ ±â¼úÀ» °³¹ßÇØ °ü·Ã ±â¾÷¿¡ ±â¼úÀÌÀü Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¾ç ±³¼öÆÀÀº ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM) ¹× Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ(TEM)ÀÇ ¼±¸íÇÑ ÃøÁ¤À» À§ÇÑ 3Â÷¿ø Àüµµ¼º ÄÚÆà ¹æ¹ýÀ» °³¹ßÇØ À̸¦ °ü·Ã ±â¾÷¿¡ ±âÁÙÀÌÀüÇß´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀÌ À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ±â¼úÀº ÀüÀÚÇö¹Ì°æ È°¿ëÀ» À§ÇÑ Àüó¸® ÀåºñÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀÌ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀº 100¡É ÀÌÇÏÀÇ Àú¿Â¿¡¼ »ùÇà ǥ¸é¿¡ Àüµµ¼º±Ý¼Ó ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿øÀÚÃþ ÁõÂø °øÁ¤(ALD)À» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.
±×¸®°í ¹Ì¼¼ÇÑ ¿äöÀÌ ¸¹°Å³ª º¹ÀâÇÑ 3Â÷¿ø ±¸Á¶¿¡¼µµ Àüµµ¼º ¹Ú¸·À» ¸Å¿ì ¾ã°í ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÄÚÆÃÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù.
µû¶ó¼ ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ÃøÁ¤½Ã »ùÇà ǥ¸éÀÇ º¯ÁúÀ̳ª À̹ÌÁö ¿Ö°îÀÌ ¾ø´Â ¼±¸íÇÑ Çö¹Ì°æ À̹ÌÁö¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ°í. °í¿Â󸮰¡ ÇÊ¿ä¾ø¾î, ¿·ÎÀÎÇÑ »ùÇüջóÀÇ ¿ì·Á°¡ ¾ø´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¿øÀÚÃþÁõÂø(ALD, Atomic Layer Deposition)Àº ¿øÀÚÃþÀ» ½×¾Æ ¿Ã·Á ¸·À» ¸¸µå´Â ÀûÃþ ¹æ½ÄÀ¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇÑ ±Ã±ØÀÇ ±â¼ú·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
ÇØ´ç ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ Àåºñ¸¦ »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ ¾¾¿£¿ø(CN1)À¸·Î ÀÌÀüµÆ´Ù.
¾¾¿£¿ø(´ëÇ¥ Á¤ÀçÇÐ)Àº ¹ÝµµÃ¼ ¿øÀÚÃþÁõÂø(ALD) ¿¬±¸ Àåºñ¸¦ »ý»êÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àü¹® Àåºñ ȸ»ç·Î, ±¹³» ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸±â°ü°ú »ï¼ºÀüÀÚ µîÀÇ ´ë±â¾÷¿¡ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇØ¿Ô´Ù.
Áö³ 2008³â ¼³¸³µÈ ÀÌ È¸»ç´Â ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê Àü´Ü°èÀÇ R&D ½ÃÀåÀ» °ø·«ÇØ¿ÔÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼»Ó ¾Æ´Ï¶ó 2Â÷ÀüÁö µîÀ¸·Î »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» È®ÀåÇØ °¡°í ÀÖ´Ù.
¾¾¿£¿øÀº ¹Ì±¹, ÀϺ», Áß±¹, ½Ì°¡Æ÷¸£, ´ë¸¸ µî ÇؿܽÃÀå¿¡ ÁøÃâÇØ ±Û·Î¹ú½ÃÀå¿¡¼ ÀÔÁö¸¦ ³ÐÇô°¡°í ÀÖ´Ù.
¶Ç, ²÷ÀÓ¾ø´Â ±â¼ú °³¹ßÀ» ÅëÇØ ¿Ü»ê Àåºñ ÀÇÁ¸À²ÀÌ ³ôÀº ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼ ¹¬¹¬È÷ Àåºñ ±¹»êÈ¿¡ À̹ÙÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â 2018³â ¼öÃâÀ¯¸ÁÁß¼Ò±â¾÷ ÁöÁ¤, 2019³â ¹é¸¸ºÒ ¼öÃâÀÇ Å¾ ¼ö»ó, 2020³â ±Û·Î¹ú °¼Ò±â¾÷¿¡ ¼±Á¤µÈ À̳ëºñÁî(Inno-Biz) ÀÎÁõ ȹµæ µîÀÇ ¼º°ú¸¦ ³»¿Ô´Ù.
ÀÌÇѺ¸¶÷ ±³¼ö´Â ¡°º» ±â¼úÀº ½±°Ô ¸»ÇØ ´õ¿í ÀÛÀº °ÍÀ» ´õ Á¤¹ÐÇÏ°Ô º¼ ¼ö ÀÖ°Ô ÇØÁÖ´Â ÀåÄ¡´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
µû¶ó¼ ¡°º» ±â¼úÀº Å©±â°¡ ³ª³ë¹ÌÅÍ »çÀÌÁî·Î ÁÙ¾îµå´Â ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀ̳ª ³ª³ë±â¼úÀ» ÇÑ ´Ü°è ¹ßÀü½Ãų Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò ±â¼úÀÌ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
ÀÎõ´ë´Â Áö¿ª °ÅÁ¡±¹¸³´ëÇÐÀ¸·Î½á Áö¿ª ¹× ±¹°¡»ê¾÷ ±â¼ú°æÀï·Â °È¸¦ À§ÇØ ¿ì¼ö ¿¬±¸¼º°ú¿¡ ´ëÇÑ ±â¼ú»ç¾÷È »ýÅ°豸Ãà Àü·«°ú Áö¿øü°è¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Áö³ÇØ´Â ±â¼úÀÌÀü¼öÀÍ 12¾ï5000¸¸¿ø(77°Ç)À¸·Î Àü±¹ 136°³ Á¾ÇÕ´ëÇÐ Áß 30À§¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù.
À̹ø ±â¼úÀÌÀüÀº µÎ ´ëÇа£ ±ä¹ÐÇÑ Çù·Âü°è¿Í ¡°2023³âµµ Áö¿ª»ê¾÷¿¬°è ´ëÇÐ Open-Lab À°¼º Áö¿ø»ç¾÷¡±À» ÅëÇØ Ã¢ÃâµÈ ¼º°ú´Ù.